- 10-7 hPaまでの真空に対応
- 無制限の移動範囲
- 繰り返し精度87 µrad
- 20 mm Ø アパーチャー
- 基準スイッチ
ウォームドライブ。20 mm Øのアパーチャ、リファレンススイッチ。
高真空アプリケーションのための高品質
この場合、モーター、測定システム、リミットスイッチなど、高真空に適した特別な部品が使用されます。さらに、表面はコーティングされていないアルミニウム製で、ドライブスクリューとガイドはステンレス製です。これにより、PI V7真空クラス(10-7 hPaまで)に達します。
応用分野
真空チャンバー研究ビームライン装置顕微鏡電子機器の組立および検査
真空環境での使用に適した低アウトガス性
ガイドとドライブスクリューの潤滑には、特にアウトガスの少ない材料を使用しています。そのため、ベークアウト温度は最高80℃に達します。
駆動
ギアヘッド付きステッピングモーター
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