リニアナノ位置決めステージ P-753 LISA series

圧電顕微鏡マイクロメーター

- ガイドステージとアクチュエータを同時搭載 - 移動範囲 38 µm まで - 分解能 0.1 nm - 非磁性体バージョンあり - ダイレクトドライブによる高速応答動作 - 静電容量式センサーによる高い直線性 - 走査型顕微鏡 - 測定技術 - 試験方法と品質保証 - フォトニクス - ファイバー・ポジショニング 静電容量式センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHzの帯域幅を保証します。 直接位置測定による最高精度の実現 駆動部やガイドエレメントの影響を受けずに、モーションプラットフォームで直接計測します。これにより、最適な繰返し精度、優れた安定性、剛性、高速応答性の制御が可能になります。 PICMA®ダイレクトドライブによる高い剛性とダイナミクス PICMA®ダイレクトドライブ搭載のピエゾ式ナノポジショナーには、機械的な移動がありません。これにより、高速な応答速度、およびピエゾドライブ製品群の中で最高レベルの剛性とダイナミクスを実現します。