超高真空・極低温環境用リニアアクチュエータ
技術内容
- 2相ステッピングモーター、サイズ25mm
- 相電流1.5 A(媒体中
- モーター電圧 24 VDC
- リニア速度 1.5 s/mm
- リニアストローク 13 mm
- 軸力 10 N (ギア付きは30 N)
- 位置決め精度 <0.01 mm
- 動作温度
- クライオバージョン
UHVC1: -196~-50 °C
UHVC2: -269 °C まで (オンデマンド)
- UHVバージョン(UHVS):-40~+200 °C
- 乾式潤滑方式で、10-11 hPaまでの超高真空での使用に適しており、106 J/kgまでの耐放射線性
特徴
- スイッチングカム付き回転式エンコーダー
- ストローク制限用リニアリミットスイッチ
- 熱電対タイプKによる温度評価
オプション
- VGPL精密遊星ギア付き
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