小型積層圧電アクチュエータ
- 優れた寿命
- 超小型。2 mm × 2 mm × 2 mm から
- ダイナミックな動作に最適
- マイクロ秒の応答性
- サブナノメートルの分解能
- 10-9hPaの超高真空に対応
PICMA®積層技術を用いた圧電リニアアクチュエータ
動作電圧 -20~100V。セラミック絶縁、ポリマーフリー。耐湿性あり。10-9hPaまでの超高真空対応、アウトガスなし、高いベークアウト温度。多数のデザインによる柔軟性。断面が長方形、円形、環状のバージョンがあります。
変更可能
PTFEで絶縁されたワイヤーリード。様々な幾何学的形状、内側の穴。精密研磨されたセラミック製エンドプレート
応用分野
産業および研究。レーザーチューニング、マイクロディスペンシング、ライフサイエンス用。
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