ミニチュア多層ピエゾアクチュエーター(インナーホール付き/なし)
- 優れた寿命
- 超小型。5 mm Øから
- ダイナミックな動作に最適
- µsの応答時間
- サブナノメートルの分解能
- 10-9hPaまでの超高真空に対応
PICMA®積層技術を用いた圧電リニアアクチュエータ
動作電圧 -20~100 V。セラミック絶縁、ポリマーフリー。耐湿性あり。10-9hPaまでの超高真空対応、アウトガスなし、高いベークアウト温度。多数のデザインによる柔軟性。断面が長方形、円形、環状のバージョンがあります。
適用分野
産業および研究。レーザーチューニング、マイクロディスペンシング、ライフサイエンスなど。
ご要望に応じて、カスタマイズされたバージョンやその他の仕様
- PTFEで絶縁されたワイヤーリード
- 多彩な形状
- 内側の穴
- 精密研磨されたセラミックエンドプレート
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