多層膜リングアクチュエーター
インナーホール付き
- 内側の穴は、予圧用または光学的用途のためのアパーチャとして使用されます。
- 優れた寿命
- ダイナミックな動作に最適
- マイクロ秒の応答性
- サブナノメートルの分解能
- 10-9hPaの超高真空に対応
積層スタックアクチュエーター
最大30 µmのフレキシブルな移動範囲。断面が丸いので組み込みが容易
10-9hPaまでのUHV対応、アウトガスなし、高いベークアウト温度。
PICMA®圧電リニアアクチュエーター
低動作電圧-20~100V。セラミック絶縁。高信頼性、長寿命。
変更可能
お客様のご要望に応じて、様々な高さ、迅速な取り付けが可能です。多様な形状に対応精密に研磨されたエンドプレートにより公差を低減
応用分野
産業および研究。レーザーチューニング、マイクロディスペンシング、ライフサイエンスなど。
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