インナーホール付き高負荷ピエゾアクチュエーター
- 高い負荷容量
- 高い信頼性>109サイクル以上
- マイクロ秒の応答性
- サブナノメートルの分解能
- 豊富なデザインバリエーション
積層型ピエゾリニアアクチュエータ
動作電圧0~1000V。ディレーティングなしの長寿命高い比変位を実現内側の穴から機械的な予圧を加えることが可能
オプション
- 位置安定のためのSGSセンサー
- PZTセラミック材料
- 動作電圧範囲、変位、膜厚
- 負荷容量、力の発生
- 形状:丸型、角型、各種断面
- メカニカルインターフェース:フラット
- 圧電検出層の内蔵
- 特殊な高温/低温バージョン
- 10-9hPaまでのUHV対応バージョン
- 非磁性体バージョン
- 長さの許容範囲が非常に狭い
適用分野
産業および研究。光学、精密機械、機械加工、レーザー調整など
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