高い力、高い変位、柔軟な生産
- 最大300 µmの移動範囲
- 高い負荷容量
- 最大80 kNの力を発生
- 高い信頼性>109サイクル以上
積層型ピエゾリニアアクチュエータ
動作電圧0~1000V。ディレーティングなしの長寿命高い比変位。高出力サブナノメートルの分解能、µsの応答性。動作温度範囲 -20~85 °C
利用可能なオプション
- 位置安定性に優れたSGSセンサー
- PZTセラミック材料
- 動作電圧範囲、変位、膜厚
- 負荷容量、力の発生
- 幾何学的形状:丸型、角型
- 機械的インターフェース: フラット、球体、金属、セラミック、ガラス、サファイヤなど
- 圧電検出層の内蔵
- 特殊な高温/低温バージョン、温度センサー
- 真空仕様、非磁性仕様
- 長さの許容範囲が非常に狭い
アプリケーションの分野
産業・研究分野高負荷の位置決め、精密機械・機械加工、スイッチなど
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