小型多軸アクチュエーター
- 単軸および多軸バージョン
- 移動範囲:10×10×10 µm
- 高い信頼性>109サイクル以上
- ピコメートルの分解能
- 短いリードタイム
ピエゾ式シアーアクチュエーター
動作電圧 -250 ~ 250 V.ピエゾ素子のせん断効果を利用した横方向の変位。最小限の電力で優れた運動性能を発揮します。
内側に穴を開けたタイプや、10-9hPaまでの極低温・超高真空環境で使用できるタイプもあります。
適用分野
- 産業および研究
- スキャンアプリケーション
- 顕微鏡
- 精密機械
- スイッチング用途
可能な変更
- 圧電セラミック材料
- 非磁性体
- 動作電圧範囲、変位、層厚、断面寸法
- 負荷容量、力の発生
- 機械的インターフェース:平面、球面、金属、セラミック、ガラス、サファイヤなど
- 極めて厳しい長さ公差
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