セラミック絶縁されたハイパワーアクチュエータ
- 優れた寿命
- 高い剛性
- マイクロ秒の応答性
- サブナノメートルの分解能
- 10-9hPaの超高真空に対応
PICMA®スタック積層型ピエゾアクチュエーター(特許取得済)の高い信頼性
動作電圧 -20~120V、セラミック絶縁、ポリマーフリー。耐湿性に優れている。優れた温度安定性10-9hPaまでの超高真空対応、アウトガスなし、高いベークアウト温度。動的動作に最適。
豊富なデザインでフレキシブルに対応。水や油がかかる環境でも動作するように、カプセル化されたバージョンもあります。
仕様を変更したカスタムデザイン
- 200 °Cまでの高い動作温度に対応
- 最大20Aの電流に対応する特殊電極
- 可変形状。内側の穴、丸型、角型
- セラミックまたは金属製のチップを多数用意
- 位置安定性に優れたSGSセンサーを採用
応用分野
産業および研究。変位の少ない極低温環境。高速スイッチング、高精度位置決め、アクティブシステム、アダプティブシステムなど。
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