最大3軸までの高いダイナミクスと解像度
- P-363 PicoCubeシステム用
- 極めて低いノイズ
- バリエーションハイダイナミクス&ハイレゾリューション
2種類のPicoCubeコントローラ
E-536 PicoCubeコントローラは,高電圧せん断アクチュエータ用に極めて低ノイズのアンプを3チャネル搭載しています。このコントローラは,超高速・高分解能のPicoCube XY(Z)ピエゾスキャナーの要件を満たすように特別に設計されています。E-536は、電圧範囲が-250Vから+250Vまでの2種類のモデルがあり、静的および動的なアプリケーションに対応しています。特にダイナミックアプリケーション向けに最適化された「E-536.3x」は、10kHzという狭い信号帯域で200mAのピーク電流を出力することができます。また、分解能を最適化した「E-536.3xH」は、最大50Wのピークパワーで、PicoCubeによる位置分解能を0.03nm以下に抑えています。
静電容量式センサーによる高精度化
E-536.3Cには、クローズドループ動作のためのセンサー/サーボコントローラが内蔵されています。静電容量式センサーを搭載したPicoCubeナノポジショニングシステムなどで位置を制御し、0.1nmの分解能を実現しています。
応用分野
- 走査型プローブ顕微鏡
- 原子間力顕微鏡
- スキャンおよびスクリーニング
最高の分解能と高いダイナミクス
オープンループ動作は、速い応答時間と非常に高い分解能が不可欠なアプリケーションに最適です。原子間力顕微鏡のように、絶対値での位置フィードバックの仕様は重要ではないか、外部センサーによって行われます。
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