1mmまでの可動範囲のガイド付き
- フレクシャーガイドにより、傾きや傾きを抑えた直線運動を実現
- 剛性が高く、バックラッシュのない構造
- ポジションセンサーを内蔵したタイプも用意
- PICMA®圧電アクチュエーターによる優れた寿命
- 適応システム技術、ナノインプリントプロセス、工作機械などの力発生用に最適なOEMアクチュエータ
- 移動範囲の拡大、応答時間の短縮、非磁性体などのカスタマイズが可能
応用分野
- ナノポジショニング
- 高速スイッチング
- パッチクランプ
- マイクロディスペンシング
- 適応システム技術/自動化
- フォトニクス / 集積光学
- バイオテクノロジー
PICMA® ピエゾアクチュエーターの優れた寿命
特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミックで絶縁されています。これにより、湿気やリーク電流の増加による故障からアクチュエータを保護します。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁されたアクチュエータと比較して、最大で10倍の寿命を実現します。1,000億サイクルで一度も故障していないことが証明されています。
フレクシャーガイドのゼロプレイによる高いガイド精度
フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も必要ありません。剛性が高いので高負荷に対応でき、衝撃や振動にも強いです。また、100%真空対応で、広い温度範囲で使用できます。
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