ポジションセンサー(オプション)付き
- フレクシャーガイドにより、ティップとチルトを最小限に抑えた直線運動が可能
- 0.2nmの分解能
- ポジションセンサーを内蔵したタイプも用意
- PICMA®圧電アクチュエーターによる優れた寿命
- 光学、医療技術、バイオテクノロジー、マイクロ流体工学などのOEMアプリケーションに最適
- 移動範囲の拡大、応答時間の短縮、非磁性体などのカスタマイズが可能
応用分野
- ナノポジショニング
- 高速スイッチング
- パッチクランプ
- マイクロディスペンシング
- 適応システム技術/自動化
- フォトニクス / 集積光学
- バイオテクノロジー
PICMA® ピエゾアクチュエーターの優れた寿命
特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミックで絶縁されています。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータを保護します。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁されたアクチュエータに比べて、最大10倍の寿命を実現します。1,000億サイクルで一度も故障していないことが証明されています。
フレクシャーガイドのゼロプレイによる高いガイド精度
フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も必要ありません。剛性が高いので高負荷に対応でき、衝撃や振動にも強いです。また、100%真空対応で、広い温度範囲で使用できます。
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