PIFOCによる対物レンズのZ位置決め
多くの検査や顕微鏡技術では、対物レンズの光軸に沿って試料をZ方向に位置決めすることが要求されます。また、対物レンズ自体をZ方向に移動させることも可能です。PIでは、PIFOCと名付けたソリューションを提供しています。
内蔵型ウェイトフォース補正
本製品には、マグネットによる重量補正機能が搭載されています。これにより、動力が加わっていない状態でも、動作軸に対して垂直方向に並んだ1kgまでの荷重の位置を維持することができます。また、重心位置の補正は、ユーザーによる調整が可能です。
PIMag®ボイスコイルモーター
ボイスコイルモーターはダイレクトドライブです。ダイレクトドライブでは、カップリング、ドライブスクリュー、ギアヘッドなどの機械的伝達要素を使用せず、駆動素子の力を移動させる負荷に直接伝達します。ボイスコイル駆動装置は、磁界の空隙に配置された永久磁石と巻線体から構成されている。巻線体に電流が流れると、永久磁石の磁界の中を移動します。ボイスコイルドライブは、軽量で摩擦のない駆動原理を採用しているため、限られた移動範囲で高い動特性と高速性が要求される用途に特に適しています。また、ヒステリシスの影響を受けないため、高いスキャン周波数や精密な位置決めも可能です。
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