超小型電動エアベアリングリニアステージ
A-142 ミニチュアリニアステージは、ダイレクトドライブボイスコイルリニアモーター、高解像度リニアエンコーダ、摩擦のない高剛性エアベアリングガイドを搭載した、ユニークで高性能な精密ナノポジショニングシステムです。メンテナンスフリーで高デューティーサイクルの産業用スキャンおよび位置決めアプリケーションに最適です。このボイスコイル駆動ステージは、内部に可動ケーブルを一切使用しない特殊な設計となっています。
高性能リニアモーションのための小型ステージ設計
この小型リニアDeepLトランスレーションは、その小型サイズにもかかわらず、機械軸受を備えた従来のステージでは満たすことのできない高性能なリニアモーションを提供します。エアベアリングスライドは潤滑剤を必要とせず、パーティクルも発生しないため、クリーンルーム対応であり、フォトニクス、光学、半導体関連のテスト、計測、アライメント用途にもう一つの利点があります。ダイレクトドライブのボイスコイルリニアモーターとエアベアリングは完全にメンテナンスフリーで摩耗しないため、このコンパクトなDeepLトランスレーションは、産業、高スループット、24/7精密モーションアプリケーションで使用することが可能です。
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