圧電ナノ ポジショナー NanoX® Series

リニア単軸2軸

従来のピエゾベースのナノポジショニングシステムは、軸の動きに1つのスタックタイプのアクチュエータ（ピエゾアクチュエータ）を使用します。 このセラミックスタックは、スタックによって生成される力を平行移動するために、固体フレキシブルジョイントの間に取り付けられています。 これらの力が内部プリロードよりも高い場合、スタックタイプのアクチュエータ（ピエゾスタック）に損傷を与える恐れがあります。 ピエゾシステムジェナによるNanoX® 設計は、この問題をインテリジェントに解決します。 1つの軸に沿った運動は、2つのスタックを使用することによって達成されます。 一方のピエゾアクチュエータが特定の方向に移動している間、もう一方のピエゾアクチュエータは逆の方向に移動し、元の位置に戻ります。 その結果、ナノポジショナー全体の剛性が高くなります（ピエゾ段階）。 このように設計されたナノポジショニングシステムは、より高い力に耐えることができ、スタックが破損する可能性は低くなります。 ピエゾシステムジェナはNanoX® 構造法を用いて様々な段階を提供しています。 最大1.1N/µmの剛性と最大900µmの動作範囲を備えたXおよびXYナノポジショニングシステムがあります。 NanoX® ステージは、高速レーザースキャニング、振動制御、アクティブダンピング、および非常に動的な動きを必要とするその他のアプリケーションに最適です。