高純度アルミナセラミックス(Al203:99.7%以上
- アルミナウェハ研磨板/ターンテーブル
-LCD の製造装置のための大型の高い純度のアルミナの幅木
材料。高純度アルミナAl203:>99.7
用途
半導体、石油、化学、太陽光発電機械部品、電子部品、マイクロ波誘導ディスク、絶縁部品などの "LCD等の産業"。半導体デバイス、真空装置、液晶製造装置、その他の部品の製造など。例えば、高純度アルミナセラミックウェーハ研磨プレート/タムテーブルの大型サイズは、化学機械研磨におけるCMPの重要なコンポーネントであり、LCD用アルミナベースボード。
の特徴を持っています。
高純度AI2O3 99.7% -99.9
高い機械的強度
高耐摩耗性
高電気絶縁
高い化学的耐久性
良好な耐熱性と耐腐食性
メーカーの利点。
PIBM自然凝固システムの独立した知的財産権を持っています。
新技術は大型セラミックブランクの前処理工程での変形や割れの問題を解決し、従来の方法で処理された大型セラミック部品の製品性能を大幅に最適化します。
ケムスンセラミックスのアルミナセラミックスのサフィアラッピングウェーハー研磨は、PIBM生産工程の形をしています。これは内部的な先端技術です。PIBMは大型アルミナセラミックスのクラックと変形という重要な問題を解決することに成功し、ファインセラミックスの新たな可能性を切り開いた。
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