スパッタリングターゲット

モリブデンスパッタリングターゲット モリブデンスパッタリングターゲットは、TFT-LCDスクリーンに使用される薄膜トランジスタの製造に使用されます。プランゼーのターゲットは高密度で純度が高く、ホメジナスの微細構造を示します。そのため、高いスパッタリング速度、プロセス中のパーティクル生成の最小化、均質な層が保証されます。 使用可能なモリブデン合金MoTa、MoNb、MoNa、MoW シングルターゲットとマルチピースターゲットからお選びいただけます。平面ターゲットは、一般的に使用される全てのシステムに対応可能であり、特定のお客様のニーズにも対応可能です。ロータリーターゲットもあります。