真空蒸着(抵抗蒸着)はPVDプロセス(物理蒸着)の一環として使用されるコーティング法です。膜を形成する材料が真空チャンバー内で蒸発するまで加熱されます。蒸着材料の蒸気を基材表面に付着させ、薄膜を形成します。
プランゼーの蒸着コイルは加熱性能が優れています。高い融点を持っているため、ほとんどすべての金属を沸点まで加熱できます。それと同時に、耐食性に優れ、材料純度が高いため、基材の汚染が生じません。
プランゼーでは、以下の材料の蒸着コイルを用意しています。
アルミニウム蒸着用の粒子安定化タングステン(WVM)
タンタル
モリブデン
長寿命のモリブデンランタン(ML)