タングステンスパッタリングターゲット
タングステン層は、TFT-LCDスクリーンに使用される薄膜トランジスタの構成要素です。タングステン層は、大画面、特に高精細な画像、最適化されたコントラストが必要な場合に使用されます。また、タングステンはマイクロエレクトロニクス産業において、拡散バリアや導電性コネクターとしても使用されています。
プランゼーは世界最大の耐火金属用熱間圧延機を使用して、地球上で最大のタングステンスパッタリングターゲットを製造することができます。大型フォーマットのメリットコーティングプロセスがより安定し、蒸着層がより高品質になります。
プランゼーのタングステンスパッタリングターゲットは特殊な成形工程により、ほぼ100%の密度を実現しています。その結果、特に高い導電性と優れたスパッタリング速度による時間短縮が、お客様のプロセスで実現します。
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