コーティングおよびラミネートマ装置 AL 18

寸法 - 長さ：530mm 幅：600mm 高さ：550mm 重量: - 80kg 容積: - 18リットル 18リットル プロセスチャンバー アルミニウム、長さ: 250mm 幅: 290mm 高さ: 250mm マイクロ波出力 - 2,45 GHz / 50～1200ワット 付属品： - ガスチャンネル1つ（プロセスチャンバー内のガス分配システム）、最大3チャンネルまで使用可能 基板ホルダー（オプション）。 - アルミニウム、カスタム設計可能 真空接続: - DN 25 ISO-KF 排気: 電磁ソレノイドバルブ ポンプシステム: - 15-35 m³/時 チャンバードア - 蝶番式、覗き窓付き