コーティングおよびラミネートマ装置 AL 36

AL18を少し大きくして、オプションと積載量を増やしたモデル。 寸法 - 長さ：680mm 幅：630mm 高さ：650mm 重量: - 110kg 容積: - 36リットル プロセスチャンバー アルミニウム、長さ: 350mm 幅: 320mm 高さ: 320mm マイクロ波出力 - 2,45 GHz / 50～1200ワット 付属品： - ガスチャンネル1つ（プロセスチャンバー内のガス分配システム）、最大3チャンネルまで使用可能 基板ホルダー（オプション）。 - アルミニウム、カスタム設計可能 真空接続: - DN 25 ISO-KF 排気: 電磁ソレノイドバルブ ポンプシステム： - 15-65 m³/h チャンバードア - 蝶番式、覗き窓付き