コーティングおよびラミネートマ装置 AL 76

小規模な生産設備や研究所向けに設計された省スペースなシステムです。コンパクトタイプと卓上タイプがあります。 寸法 - 長さ：770mm 幅：780mm 高さ：780mm 重量: - 80kg 容積: - 76リットル 76リットル プロセスチャンバー アルミニウム、長さ: 400mm 幅: 480mm 高さ: 400mm マイクロ波出力 - 2,45 GHz / 50～1200ワット 付属品： - ガスチャンネル1つ（プロセスチャンバー内のガス分配システム）、最大3チャンネルまで使用可能 基板ホルダー（オプション）。 - アルミニウム、カスタム設計可能 真空接続: - DN 40 ISO-KF 排気: 電磁ソレノイドバルブ ポンプシステム： - 最大250m³/h チャンバードア - 扉は、覗き窓付きのヒンジ式、引き出し式、ユニバーサルドアから選択可能。