コーティングおよびラミネートマ装置 AL 76/AL 100

中型の基板やPCBプレートに最適です。 寸法 - 長さ：1050mm 幅：800mm 高さ：2020mm 重量: - 95kg 容積: - 76/100リットル プロセスチャンバー アルミニウム、長さ: 400mm 幅: 480mm 高さ: 520mm マイクロ波出力 - 2,45 GHz / 50～1200ワット 付属品： - ガスチャンネル1つ（プロセスチャンバー内のガス分配システム）、最大3チャンネルまで使用可能 基板ホルダー（オプション）。 - アルミニウム、カスタム設計可能 真空接続: - DN 63 ISO-KF 排気: - 電磁ソレノイドバルブ ポンプシステム： - 最大250m³/h (内蔵) チャンバードア - ヒンジ式（覗き窓付き）、引き出し式、ユニバーサルドアから選択可