自動ドア付き、作業高さ調節機能付きで積み込みも簡単です。
寸法 -
長さ:1200mm 幅:2700mm 高さ:1850mm
重量: -
380KG
容積: - 235リットル
235リットル
プロセスチャンバー: -
長さ: 650 幅: 650 高さ: 550
マイクロ波出力 -
2.45GHz/1200W・1450W
付属品: -
ガスチャンネル1つ(プロセスチャンバー内のガス分配システム)、最大3チャンネルまで使用可能
基板ホルダー(オプション)。 -
アルミニウム、カスタム設計可能
真空接続: -
DN 100 ISO-K
排気口: - -電磁弁
電磁ソレノイドバルブ
ポンプシステム: -
50 -600 m³/hプロセス依存
チャンバードア -
自動ドア
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