コーティングおよびラミネートマ装置 AL 800

最大級のALシステム。最大の基板と数量に対応します。 寸法 - 長さ：1200mm 幅：900mm 高さ：1800mm 重量: - 300KG 容積: - 800リットル プロセスチャンバー： - 長さ: 900 幅: 920 高さ: 900 マイクロ波出力 - 2.45GHz / 50～1200W 付属品： - ガスチャンネル1つ（プロセスチャンバー内のガス分配システム）、最大3チャンネルまで使用可能 基板ホルダー（オプション）。 - アルミニウム、カスタム設計可能 真空接続: - DN 63 ISO-KF 排気: - 電磁ソレノイドバルブ ポンプシステム： - 最大250m³/h チャンバードア - 扉は、覗き窓付きのヒンジ式、引き出し式、ユニバーサルドアから選択可能。