コーティングおよびラミネートマ装置 Q150

簡単な操作とシンプルなローディング。当社のQシリーズは、高速で信頼性の高いプラズマ処理を実現します。 寸法 - 長さ：500mm 幅：550mm 高さ：370mm 重量: - 40KG 容積: - 4リットル 4リットル プロセスチャンバー： - クオーツグラス、150mm Ø、B: 244mm マイクロ波出力 - 2,45 GHz / 50 - 1200ワット 付属品： - ガスチャンネル1つ（プロセスチャンバー内のガス分配システム）、最大3チャンネルまで使用可能 基板ホルダー（オプション）。 - アルミニウム、カスタム設計可能 真空接続: - DN 25 ISO-KF 排気: 電磁ソレノイドバルブ ポンプシステム： - 最大25m³/h チャンバードア - 扉は、覗き窓付きのヒンジ式と、サポートロッド付きの引き出し式から選択できます。 ウェーハサイズ 最大125mmまで、25枚単位