コーティングおよびラミネートマ装置 Q 240S

当社Q240の口径を持ちながら、省スペース化のためにチャンバー深さを浅くしたシステムです。 寸法は以下の通りです。 - 長さ：620mm 幅：550mm 高さ：500mm 重量: - 75kg 容積: - 9リットル 9リットル プロセスチャンバー： - クオーツガラス製, 240mm Ø , B: 244mm マイクロ波出力 - 2,45 GHz / 50 - 1200ワット 付属品： - ガスチャンネル1つ（プロセスチャンバー内のガス分配システム）、最大3チャンネルまで使用可能 基板ホルダー（オプション）。 - アルミニウム、カスタム設計可能 真空接続: - DN 40 ISO-KF 排気: 電磁ソレノイドバルブ ポンプシステム： - 最大25m³/h チャンバードア - 扉は、覗き窓付きのヒンジ式と、サポートロッド付きの引き出し式から選択できます。 ウェーハサイズ 最大150mmまで、25枚単位