コーティングおよびラミネートマ装置 Q 240

Qシリーズで最も大きなシステム。最大200mm径のウェーハを複数枚使用する場合に最適な装置です。 外形寸法 - 長さ: 760mm 幅: 775mm 高さ: 775mm 重量: - 100kg 容積: - 20リットル 20リットル プロセスチャンバー： - 石英ガラス、Ø240mm、B: 450mm マイクロ波出力 - 2,45 GHz / 50 - 1200ワット 付属品： - ガスチャンネル1つ（プロセスチャンバー内のガス分配システム）、最大3チャンネルまで使用可能 基板ホルダー（オプション）。 - アルミニウム、カスタム設計可能 真空接続: - DN 40 ISO-KF 排気: 電磁ソレノイドバルブ ポンプシステム： - 最大40m³/h チャンバードア - 扉は、覗き窓付きのヒンジ式と、サポートロッド付きの引き出し式から選択できます。 ウェーハサイズ 200mmまで、50枚単位