改造機です。
寸法 -
長さ: 550mm 幅: 1900mm 高さ: 900mm
重量: -
180kg
容積: - 250リットル
250リットル
プロセスチャンバー
アルミ製、パネルホルダー付き
パネルホルダー:L: 400mm B: 650mm H: 800mm
回路基板:4/5枚まで 18x24 "または20x24 "を含む
LF出力(低周波)。 -
動作周波数=40KHz、最大2000W
マイクロ波出力。 -
2,45 GHz / 50~1200ワット
付属品: -
ガスチャンネル1つ(プロセスチャンバー内のガス分配システム)、最大6チャンネルまで使用可能
基板ホルダー(オプション)。 -
アルミニウム、カスタム設計可能
真空接続: -
DN 63 ISO-KF
排気: -
電磁ソレノイドバルブ
ポンプシステム: -
最大250m³/h
チャンバードア -
蝶番式、覗き窓付き
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