真空コーティング システム Series 300

表面前処理用プラズマ源を内蔵し、実験室での使用に最適化された汎用性の高いシステム。 実験室や生産設備に最適なラボコーターです。 小規模な企業や生産チーム向けに最適化されたシステムです。 オプション装置により、このラボコートは25lからプロセスチャンバー容積を変更できる非常に汎用性の高い装置です。 プラズマ源内蔵。 クリーンルーム仕様もあります。 4種類のボリュームから選択可能。 寸法 - 長さ：1220mm 幅：1050mm 高さ：1920mm 重量: - 110kg 容積: - 25リットル/35リットル/40リットル/80リットル プロセスチャンバー： - 300mm Ø H: 300mm（25リットル）、300mm Ø / H: 350mm（35リットル）、450mm Ø, H: 500mm（80）リットル プラズマソース： - 2.45GHz、600ワット 付属品 ガスチャンネル1つ（プロセスチャンバー内のガス分配システム）、最大3チャンネルまで可能 冷却システム: - 4リットル 4リットル (電気機械式クールトラップ) 真空接続: - DIN 40 ISO-KF DIN 40 ISO-KF 排気口: - 電気ソレノイドバルブ 電磁ソレノイドバルブ ポンプシステム： - 50m³/h 電気接続： - 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW