真空コーティング システム Series 3000

産業用として作られた大量かつ厳しい生産量に対応するために、徹底的に検証されたシステムです。 シリーズ2000（プラズマなし）シリーズ3000（プラズマ対応）の標準的な生産ツールです。 モジュラーアセンブリと可変チャンバーサイズが、この徹底的なテストを経た生産・コーティング装置を特徴づけています。 工業用として製造されています。 大型のチャンバーにより、大量生産に対応できます。 寸法図 - 長さ：2095mm 幅：800mm 高さ：1450mm 重量: - ~ 300KG 容積: - 140/200/300/600/750/800/1000 Liter プロセスチャンバー： - 500mm Ø H: 700mm（140リットル）、600mm Ø / H: 700mm（200リットル）、700mm Ø, H: 800mm（300リットル）。 プラズマソース： - 2.45GHz、1200ワット 付属品 ガスチャンネル1つ（プロセスチャンバー内のガス分配システム）、最大3チャンネルまで可能 冷却システム: - 8リットル 8リットル (電気機械式クールトラップ) 真空接続 DIN 40 ISO-KF 排気口: - 電気ソレノイドバルブ 電磁ソレノイドバルブ ポンプシステム： - 75m³/h 電気接続： - 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW