真空コーティング システム Series 3000 LV 600/700

これがパリレン・システムです。チャンバーモジュールとエバポレーターモジュールの2つに分かれたモジュールシステムです。 寸法は - 長さ：2400mm 幅：960mm 高さ：1460mm 重量: - ~ 350kg 容量： - 600 / 700リットル プロセスチャンバー： - 800mm Ø H: 1100mm (600 リットル) / 1300mm (700 リットル) プラズマ源： - 2.45GHz、1200ワット 付属品 ガスチャンネル1つ（プロセスチャンバー内のガス分配システム）、最大3チャンネルまで可能 冷却システム: - 8リットル 8リットル (電気機械式クールトラップ) 真空接続: - DIN 63 ISO-KF DIN 63 ISO-KF 排気口: - 電気ソレノイドバルブ 電磁ソレノイドバルブ ポンプシステム： - 75m³/h 電気接続： - 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW