真空コーティング システム 3000 RR

クリーンルームでの使用が求められる用途向けに開発されました。 モジュラーアセンブリと可変チャンバーサイズ。 ターンテーブルや基板用ホルダーなど、豊富なオプション。 プロセスチャンバーのローディングは、クリーンルーム内で行われます。 アンローディングは、グレールームのエアロックドアから行います。 寸法図 - 長さ：2095mm 幅：800mm 高さ：1450mm 重量: - ~ 300KG 容積: - 140リットル/200リットル/300リットル プロセスチャンバー： - 500mm Ø H: 700mm (140リットル)、600mm Ø / H: 700mm (200リットル)、700mm Ø, H: 800mm (300リットル) プラズマソース： - 2.45GHz、1200ワット 付属品 ガスチャンネル1つ（プロセスチャンバー内のガス分配システム）、最大3チャンネルまで可能 冷却システム: - 8リットル 8リットル (電気機械式クールトラップ) 真空接続 DIN 40 ISO-KF 排気口: - 電気ソレノイドバルブ 電磁ソレノイドバルブ ポンプシステム： - 75m³/h 電気接続： - 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW