真空コーティング システム

低圧環境下で最も複雑なコーティングプロセスを実現するロボット駆動のマルチチャンバーシステム。 寸法 - 長さ: 2000mm 幅: 1800mm 高さ: 2000mm 重量: - ~ 320kg 容積: - 50リットル 3つのプロセスチャンバー - VA 長さ：300 幅：300 高さ：300 プラズマ源： - 2,45 GHz、1200 W / 13,56 MHz、600 W 付属品 3x3 ガスチャンネル (プロセスチャンバー内のガス分配システム) その他 エアロックロボット、エアロック用基板ホルダー例 基板ホルダー（オプション）。 - アルミ製、カスタマイズ設計可 真空接続: - DN 63 ISO-KF 排気口： - 電磁ソレノイドバルブ 3 ポンプシステム - 40m³/h チャンバードア - メンテナンス用チャンバードア