表面処理用プラズマ発生器 FG 500 series

高周波

最高の性能を備えたプラズマジェネレーター FG5000シリーズは、最新の半導体技術と数多くのセンサーを組み合わせ、最高の使いやすさを実現しています。プラズマチャンバー内の圧力、電流、電圧、周波数を測定する一体型アナログモニターを使用し、プラズマからの発光分析を行うことによって、プロセス信頼性を最大限に高めています。 プラズマジェネレーターの制御を行うタッチスクリーンコントロールパネルには、使いやすく、判りやすい設計が施されています。このパネルには、シグナルチェーン機能付の高レベル・低レベル制御装置が組み込まれています。 標準的な用途 完成したシステムへの組み入れ 厳しい環境条件下におけるマルチシフト運転に適した特徴 さまざまなプロトコル機能を必要とする工業用途 ロボット補助製造システム FG 5002S/5005Sジェネレーターの主な特徴 デジタル式高周波数プラズマジェネレーター、システム制御装置、一体型小型コントローラーによる出力制御 ステータスやエラーメッセージを表示するタッチスクリーンコントロールパネル（人間工学に基づく操作 総合サービスマニュアル 出力：2kVA（FG5002）または5kVA（最大4個／8個のプラズマノズルを稼働） 電圧源：3x 400V 運転温度範囲：0～40℃ サービス別のコントロールキャビネットへの設置 豊富なモニタリング機能による最高レベルのプロセス信頼性・再現性