PL1011 G4 は、プロセスの信頼性と高品質コーティングの組み合わせを低コストで実現したいお客様のために、PLATIT が提供する次世代型 PVD コーティング装置です。また、プラズマ窒化やダブルパルスオプションなどの新しい技術的特徴は、様々なアプリケーションのコーティング特性やプロセスを向上させます。
PL1011 G4 は、量産型コーティングセンターの基幹装置として、最高の生産稼働率、ユーザーフレンドリーなインターフェース、効率的なメンテナンスコンセプトを兼ね備えています。最新のARC技術を利用した4つのPlanarカソードを搭載し、すべてのPLATIT標準コーティングを常に高い品質で成膜することができます。
4 x ARC技術を使用した成膜用Planarカソード
LGD® (ラテラル・グロー・ディスチャージ)
アルゴン、グロー放電によるプラズマエッチング
金属イオンエッチング(Ti、Cr)
最大コーティング量[mm]: ø715 x H805
最大コーティング高さ(膜厚規定時):711mm
最大荷重400kg
3〜4バッチ/日
1~12軸
PLATIT SmartSoftware (PCおよびPLCシステム) とタッチスクリーン
ユーザーインターフェースによる統計およびヘルプ機能
プロセスパラメータとフローのデータ記録とリアルタイム表示
手動および自動のプロセス制御
リモート診断とメンテナンス
新設計のレシピエディタ
フットプリント[mm]:W4000×D2250×H2350
フットプリント ダブルパルスオプション [mm]W4700×D2250×H2350
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