Pi1511は大容量PVDコーティング装置です。ドアに3つの回転式PLATIT LARC® XLカソード、チャンバー後部に2つの平面アークカソードを備えています。
円形カソードと高性能平面カソードの組み合わせにより、選択されたPLATITシグネチャーコーティングを通常の柔軟性で成膜することができます。LARC® XLカソードは運転時間が非常に長いため、コーティングあたりのコストを抑えながら高い生産性を保証します。
テクノロジー
3 LARC® XLカソード(LAteral Rotating XL Cathode) (ドア内)
後部にアークコーティング用平面カソード2基
自動磁場調整用MAC-3C (磁気アーク閉じ込め-コイル電流補正)
高速カソード交換
厳選されたPLATITシグネチャーコーティングの成膜
エッチングプロセス
PLATIT Pi1511コーティングユニットでは、いくつかのエッチング技術を使用することができ、様々な利点があります:
LGD® (横方向グロー放電)
アルゴン、グロー放電によるプラズマエッチング
金属イオンエッチング(Ti、Cr)
負荷とサイクル時間
コーティング体積:最大ø715 x H805mm
規定膜厚でのコーティング高さ:最大711mm
荷重:最大750kg、要相談
バッチ/日3
モジュラーカルーセルシステム
1-12軸
ソフトウェア
PLATIT SmartSoftware(PCおよびPLCシステム)
簡単な操作とメンテナンス
タッチスクリーンでのメニューナビゲーションによる最新のユーザーインターフェース
データ記録とデータ管理を含むリアルタイムのプロセス可視化
手動および自動プロセス制御
遠隔診断とメンテナンスが可能
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