光起電性貯蔵マシン Pi411 PLUS

PLATIT Pi411 PLUSは、モジュール設計と幅広い利用可能な技術により、世界で最もフレキシブルなPVDコーティングユニットです。ドアに3つの回転カソードを備えたアークコーティングユニットとしての基本構成は、現場でモジュール化することができます。アークまたはスパッタリング中心カソード、PECVD、OXIプロセスへのアップグレードも可能です。また、このコーティングユニット独自のLACS®ハイブリッド技術は、アークとスパッタの同時コーティングを可能にします。 複数の構成オプションと回転カソードに基づく高い柔軟性により、最高レベルの性能でカスタマイズされたPVDコーティングを開発することができます。このコーティングユニットは、技術的な妥協を許さず、最高の柔軟性と性能を重視するお客様に最適です。 テクノロジー PLATIT Pi411 PLUS PVDコーティングユニットには、いくつかの技術オプションがあります： ECO 基本構成：3つのLARC® (LAteral Rotating Cathode)カソードがドア内にあり、アークコーティングが可能。 PECVD (DLC2) a-C:H:Siコーティング用 ターボ ECOコンフィギュレーション + CERC®カソード（CEntral Rotating Cathode）、アークコーティング技術による生産性の向上、および非常に複雑なコーティング用 OXI コランダム構造の酸化物PVDコーティング用 SCIL 中央カソードからの高性能スパッタリング ハイブリッドLACS ドアのLARC®カソードと中央のSCIL®カソードによるアークとスパッタの同時プロセス エッチングプロセス PLATIT Pi411 PLUSのコーティングユニットでは、様々な利点のあるエッチング技術を使用することができます： LGD® (横方向グロー放電) アルゴン、グロー放電によるプラズマエッチング