光起電性貯蔵マシン PL2011

PLATIT PL2011は、特に大量のバッチに対応可能なアークコーティング装置です。5つの異なるコンフィギュレーションを持つ特別設計のカルーセルにより、コーティングの品質を維持しながら、最大限の負荷の柔軟性を実現します。本装置は、小径または大径の工具を大量にコーティングすることも、1つのバッチで混載することも可能です。PL2011は、直径1423mmまでの工具のPVDコーティング用に設計されています。カルーセルは最大1800kgまで積載可能です。 PL2011は、PL1011G4のダブルパルス機能をベースにしています。これにより、標準プロセスに比べてコーティング速度が30%向上しました。パルスカソードでは、アーク分布が改善されるため、より滑らかなPVDコーティングが可能になります。合金ターゲットにアーク電源を使用することで、成膜速度とコーティング分布が改善され、より均一なターゲット浸食が保証され、ターゲット材料の寿命が延びます。 テクノロジー 6個の平面アークカソード、うち4個はパルスアーク電源によりカソードのパルス化を実現 エッチングプロセス PLATIT PL2011コーティングユニットでは、3つの異なるエッチングプロセスを使用できます： LGD® (Lateral Glow Discharge) シャッター付きカソード2つとアノードとして機能するカソード2つ アルゴン、グロー放電によるプラズマエッチング 金属イオンエッチング（Ti、Cr） PVDコーティングユニットには2つのドアがあり、チャンバーへの完全なアクセスを提供します。これにより、装置とカソードのメンテナンスが簡素化され、ロードとアンロードが高速化されます：完成したバッチを一方のドアから取り出し、もう一方のドアから次のバッチをロードすることができます。 さらに、トラックシステムによるカルーセルキャリッジの常に正しいアライメントにより、最大1800kgまでの基板の搬出入が容易になります。1800kgまで。