光学顕微鏡 MSA-650 IRIS

測定自動リアルタイム

シリコンキャップで封止されたMEMSの非接触振動測定 MEMS デバイスの動的特性を測定し、機械的な応答を可視化することは、製品開発やトラブルシューティング、FE モデルの検証において重要です。ポリテックの MSA マイクロシステム アナライザは、面外振動 （OOP） や面内振動 （IP） を高速かつ正確に非接触で測定します。これまでは、光学的にアクセス可能な梱包されていないデバイスに限られていました。しかし、ポリテックの MSA-650 IRIS マイクロシステムアナライザでは、慣性センサ、MEMS マイクロフォン、圧力センサなど、カプセル化されたマイクロデバイスのシリコンキャップを透過して測定することができます。 Siキャップデバイスの異なる層を通してMEMSダイナミクスを測定するIR機能 25MHzまでの面外応答をリアルタイムに測定（後処理なし） サブピコメートルの面外変位分解能 最終状態にあるMEMSの単純明快なFEモデル検証 デバイスの各層の優れた分離性 2.5MHzまでの面内運動を測定するストロボビデオ顕微鏡 生産現場に適した自動化システム（プローブステーション対応）