光学顕微鏡 MSA-600

測定MEMS用リアルタイム

MEMSや微細構造物の動的応答と表面粗さ・形状の測定 MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）などの微細構造デバイスの試験や開発において、表面形状や動的運動の解析と可視化は重要な役割を担っています。MSA-600マイクロシステムアナライザは、表面形状や面内・面外運動の特性を測定するためのオールインワン光学測定ワークステーションで、FEモデルの検証、クロストーク効果の判定、表面変形の測定などに不可欠な装置です。 MSA-600-M/Vは、最大25 MHzの周波数範囲をカバーし、MEMS、MEMSマイクロホン、その他のマイクロシステムに最適です。MSA-600-X/Uは、2.5 GHzまでの高周波および超高周波領域に対応し、高周波MEMS共振器やSAW、BAWなどのマイクロアコースティックデバイスの評価に最適なバージョンです。 MSA-600-Sは、6GHzのリアルタイム振動解析と表面形状解析に特化した光学測定ワークステーションです。FBAR（フィルムバルク音響共振器）、BAW（バルク音響波）フィルタ、SAW（表面弾性波）デバイスなどのGHz帯MEMSのテストに最適です。 マイクロストラクチャのためのオールインワン光学測定ワークステーション リアルタイム測定（後処理不要） 測定周波数帯域 最大 25 MHz（MSA-600-M / V） 測定周波数帯域 最大 2.5 GHz（MSA-600-X / U） 測定周波数帯域 最大 6 GHz（MSA-600-S） サブピコメートル変位分解能 振動形状のすばやい測定と可視化 直観的かつ直感的な操作 MEMSプローブステーションとの統合が容易 FEモデル検証のためのインポート/エクスポートオプション