光学顕微鏡 MSA-100-3D

MEMS用3D小型

MEMSとマイクロシステムのための3次元振動計測 実際の物体の振動は通常3次元です。確かに優先的な振動方向を示すことはできますが、製造公差やその他の影響により、他の空間方向にも振動成分が移動します。MSA-100-3D マイクロシステムアナライザを使用すると、サンプルの動的挙動を統合的に、広い帯域幅で、リアルタイムに解析できます。3つの空間方向の振動成分は高分解能で同時に記録され、統合されたデータレコードとして解析されます。振動の方向に関係なく、レーザドップラ振動計で一般的なサブピコメートルの振幅分解能を実現します。 最大 25 MHz の広帯域幅でリアルタイムに振動を計測 面外および面内の振動に対して、サブピコ メータの振幅分解能を実現 シングルポイント測定とフルフィールド測定の両方に対応 4μm以下の小さなレーザースポットにより、最大限の横分解能を実現 スタンドオフ距離が38 mmと大きい 一般的なMEMSプローブステーションとの互換性