小型部品や微細構造物の振動測定
MSA-060マイクロシステムアナライザは、MEMSやマイクロシステムの振動挙動、精密機械のダイナミクス、電子機器の信頼性を総合的に評価するための小型光学測定システムです。共振周波数、振動振幅の特定、さらにはサンプル全体の振動モードの可視化を支援します。
MSA-060 は、非常に小さく繊細なものからメソスケールのテスト構造物まで、真の振動ダイナミクスを捉えることができます。データ収集機器 VibSoft-PROは、2チャンネルで、シグナルジェネレータ―(信号発生器)を備えています。また、オプションのXYステージを使用すれば、サンプル表面全体をスキャンすることができ、DCから24 MHzまでの周波数帯域幅でピコメータ分解能のリアルタイム振動データを測定します。
高精度非接触小型振動計測システム
最大24MHzまでのリアルタイム振動測定
ピコメートルの面外変位分解能
HD+カメラ内蔵でセットアップやドキュメント作成が簡単
シグナルジェネレータを搭載した2チャンネルDAQ
電動XYステージによるスキャニング測定(オプション)
振動モードのアニメーション表示と総合的なデータ解析