「 制限する流れプロダクト(RFP)は単一の開始の制限する流れの開口部または何百もの小さいの焼結させた金属の流れリストリクター、ミクロン大きさで分類した通路をである。これらは高い純度の半導体プロセス ガスの自由な流れを防ぐのに使用される装置を限る流れである。
装置を限る流れは圧縮されたガス供給 システムまたはガスの配分多岐管に高いガスの流れのスパイクを制御するために取付けられている。無意識の高いガスの流れは圧力調整器のガス供給 ライン、故障弁または失敗の破裂によって引き起こされるかもしれない。
私達のSinterflo®は金属の流れリストリクターをである信頼性が高い、安価、応用範囲に速い投資に対するリターンを提供するフロー制御の部品焼結させた。これらは316Lステンレス鋼、ニッケル、Hastelloy® C22、Hastelloy® C276および他の温度および防蝕材料から製造することができる。
半導体の企業、建物および消防規則の承諾
RFP'Sはに半従うことで助けることができる大きさで分類し、識別し、ためのS5-0310安全に関する推奨事項ガス ポンプ弁のための装置、シランおよび他のガスの安全standards. \ /htmlの半導体の製作設備、CGA G-13の貯蔵そして」処理の保護のためのNFPA 318の標準を限る流れを
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