200fsまでのFEMTO光源
光源波長:近赤外(1030 nm)
5軸プリセッションヘッド
ビジョンシステム、ビームアッテネータ、シャッター、ビームアナライザ、パワーレコーダ
マシンクラス1 (I), FEMTO-LASER クラス4 (IV)
専用多機能ソフトウェア
シーメンス 840 D SL、安全統合CNC
装置温度 +/- 1℃、オーバープレッシャー環境下での運転可能
技術的ハイライト:
焦点距離測定
交換可能なクランプ装置
高精度位置決めX-Yテーブル(300×300mm)
リポジショニング確認用カメラ
除塵装置
MONO構成(試作・量産1ヘッド機)
製品メリット:
穴品質の再現性
マシンキャリブレーション精度 < ± 1 µm
プロセス精度 ± 2 µm
高い歩留まりと比類ない生産性
柔軟性(穴あけ、切断、旋盤加工)
丸穴、角穴、その他の穴形状に対応
穴のテーパーコントロール
最小径 ⩽ 20 µm、タイトホールピッチ(壁厚 ⩽ 10 µm)対応
FEMTO LASER の利点 :
高い繰り返し周波数と優れたビーム品質
熱影響なし(NAZ)
蒸着、リキャストなし
幅広い材料の加工が可能(セラミック、ハードセラミック、ポリマー、ポリイミドなど)
幅広い用途に対応する旋盤機能
品質と専門知識 :
穴径、形状、位置決めを制御するための光学およびファイバー非破壊測定
画像解析付き2Dビデオ測定システム
表面粗さ測定 (共焦点レーザー3D)
走査型電子顕微鏡(SEM)
オンデマンドでの研究・試作
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