DLC(Diamond Like Carbon Coating)コーティング装置は、エンジン部品、非鉄金属の切削工具、摺動シール部品、繊維産業などの産業分野で広く使用されています。
このシリーズの装置は、様々なDLCコーティングに適しており、お客様のニーズに応じて、フィルター付きアークイオンプレーティング、アンバランスマグネトロンスパッタリング、PE-CVDなどの組み合わせを装備することができます。自動車部品製造、機械部品、金型、ベアリング、打ち抜き絞り型、金型、航空宇宙部品などに適しています。
当社が開発した「中間層技術」のDLC膜は、中間層に着目することで、良好な密着性、耐摩耗性、高硬度、低摩擦係数、低表面粗さを実現し、DLC膜がより優れた性能を得ることができます。低温成膜技術のボトルネックを解消することに成功し、DLC膜がより多くの分野で展開できるようになりました。
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