イオン源 Anode ion source

アノードイオンソース（バーイオンソース フィラメント、グリッド、中和グリッドがないため、長期間メンテナンスなしで安定して動作・生産することができ、平均故障間隔が非常に長く、メンテナンスコストが非常に低い。 1.非金属基板の洗浄：基板の表面汚染物質（酸化物、炭化水素など）を洗浄し、フィルムベースの結合力を高め、基板の欠陥を減らし、基板の表面エネルギーを高めることなどができる。 2.ガスイオン化率の向上：マグネトロンスパッタリングプロセスにおけるイオンアシスト蒸着として作業ガスをイオン化すると同時に、表面上の膜粒子の移動・拡散能力を向上させ、緻密な膜構造の形成に有利となる。 3.蒸着フィルム。DLCや光学フィルム、酸化物、窒化物などの直接成膜。