顕微鏡ポジショニングステージ H112

XY軸電動式2軸

H112ステージは、半導体ウエハー、フォトマスク、フラットパネルディスプレイ、プリント基板など幅広い分野のスキャンに最適です。H112は、12インチ（300mm）ウェーハを容易に収容することができ、多くのロボットアームウエハーローダーに対応することができます。また、H112は250 mm × 250 mmの透過光エリアを持つ透過光用途に使用することができます。 • 主要メーカーのマイクロスコープに対応 • 1 μm以上の繰り返し精度 • オプションの100 nmリニアスケールにより、最高レベルの分解能を実現 • 豊富なウエハーホルダー • 302 mm x 302 mm（12インチ x 12インチ）移動量