大型サイズポジショニングステージ H116
XY軸電動式2軸

大型サイズポジショニングステージ - H116 - Prior Scientific - XY軸 / 電動式 / 2軸
大型サイズポジショニングステージ - H116 - Prior Scientific - XY軸 / 電動式 / 2軸
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特徴

方向
XY軸
タイプ
電動式
軸の数
2軸
その他の特徴
産業用, 顕微鏡, ロングレース用, 重荷重用, はめ込み式ステッピング モーター付, 大型サイズ, ボールねじ
ストローク

最大: 256 mm
(10.079 in)

最少: 215 mm
(8.465 in)

速度

40 mm/s

繰返し精度

2 µm

積載量

最大: 25 kg
(55.12 lb)

最少: 0 kg
(0 lb)

詳細

H116ステージは、ほとんどの大型顕微鏡に対応し、8インチ(200mm)ウェーハや各種大型サンプルを容易に搭載できるため、半導体ウエハー、フォトマスク、フラットパネルディスプレイ、プリント基板など、幅広い分野のスキャンに最適です。 • 主要メーカーのマイクロスコープに対応 • 1 μm以上の繰り返し精度 • 静粛性・信頼性 • 豊富なウエハーホルダー。 • 255 mm x 215 mm(10インチ x 8.5インチ)の移動量

カタログ

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。